高纯气体(Purified Gases)气体工业名词 ，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体 。对于不同类别的气体 ，纯度指标不同 ，例如对于氮 ，氢 ，氩 ，氦而言 ，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体 ；而对于氧气 ，纯度为99.99%即可称高纯氧 ；对于碳氢化合物 ，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体 。高纯气体应用领域极宽 ，在半导体工业 ，高纯氮 、氢 、氩 、氦可作为运载气和保护气 ；高纯气体可作为配制混合气的底气 。[1]
高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体 ，和无机高纯气体